The $200M Machine that Prints Microchips: The EUV Photolithography System
3-Second Blueprint (English)
- ASML's EUV photolithography system uses 13 nm light across five core subsystems to print ~10 nm (~45-atom) transistor features.
- A 6×6-inch Bragg-reflector mask with patterned absorbers accelerates above 7 G while 4× optics shrink patterns onto 300 mm wafers.
- Depending on die size, one 300 mm wafer yields ~90 GPUs, 185 CPUs, or 978 DRAM chips before track-tool resist development.
EUV Photolithography (13 nm)Bragg Reflector Reticle4x Projection Optics7G Reticle & Wafer StagesPhotoresist Track Processing
3-Sekunden-Fazit (Deutsch)
- ASMLs EUV-Lithografiesystem nutzt 13-nm-Licht in fünf Kernsystemen, um ~10 nm (~45 Siliziumatome) feine Transistorstrukturen zu drucken.
- Eine 6×6-Zoll-Bragg-Spiegelmaske mit Absorbern beschleunigt mit >7 G, während eine 4×-Optik Muster auf 300-mm-Wafer verkleinert.
- Je nach Chipgröße liefert ein 300-mm-Wafer ca. 90 GPUs, 185 CPUs oder 978 DRAM-Chips vor der Fotolack-Entwicklung im Track-Tool.
EUV-Fotolithografie (13 nm)Bragg-Reflektor-Retikel4x-Projektionsoptik7G-Wafer- & RetikelbühnenFotolack-Entwicklung
Note / Hinweis: Blueprints are AI-generated educational summaries (0% Politics · 0% Religion · 0% Brainrot) and do not constitute medical, legal, or financial advice. / KI-generierte Zusammenfassung zu Bildungszwecken – ersetzt keine medizinische, rechtliche oder finanzielle Fachberatung.